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电子材料
半导体光刻胶用原材料
技术参数
产品名称
结构式
吸收波长
特性
应用
下载
TR-PAG-20304
/
外观:类白色固体 纯度:≥99.50% 单个金属离子:≤10ppb 酸值:≤0.001mol/Kg
KrF光刻胶
TDS
TR-PAG-30204
/
外观:类白色固体 纯度:≥99.50% 单个金属离子:≤10ppb 酸值:≤0.001mol/Kg
KrF光刻胶
TDS
TR-PAG-40507
/
外观:类白色固体 纯度:≥99.50% 单个金属离子:≤200ppb 酸值:≤0.002mol/Kg
i线光刻胶
TDS
TR-PAG-42203
/
外观:淡黄色固体 纯度:≥99.50% 单个金属离子:≤200ppb 酸值:≤0.002mol/Kg
i线光刻胶
TDS
TR-TM1302
/
外观:淡黄色到无色液体 纯度:≥99.00%
KrF光刻胶聚合物用单体
TDS
TR-B601
/
重均分子量:8000-15000 分子量分布:<1.8 水分:<0.5% 残留单体:<1.0% 单个金属离子:<50ppb 组成:HS=60-70%,ST=10-25% TBA=5-20%
KrF光刻胶聚合物PHS树脂
TDS
TR-B602
/
重均分子量:15000±1000 分子量分布:1.50-1.80 残留单体:<1.0% 单个金属离子:<50ppb BOC:30±5%
KrF光刻胶聚合物PHS树脂
TDS
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